Iso Valve Gate Valve Cylinder 안 전 기타 공정생산성 개선 Lift Pin Hoop Mapper Lift Pin (Metal 빠짐 방지) SND – Ceramic Lift Pin (반도체 공정 내 Wafer Up Down 핀) Hoop ( Wafer Back 면 Particle 최소화) 반도체 공정 내 Wafer Up Down 링 SND – PRODUCER HOOP SND – 200mm ORIENTER HOOP Mapper (Sensor 부 Polymer 증착 방지) 반도체 공정 내 Wafer 유무를 인식하는 Sensor SND – AS MAPPER SND -CN MAPPER
