특허 제 10-2424593호 리크감지 진공 공정용 아이솔레이션 밸브

특허 제 10-2266081호 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더

특허 제 10-2192642호 진공 공정용 게이트 밸브 및 감속 실린더

특허 제 10-1997107호 리크감지가 가능한 진공 공정용 아이솔레이션 밸브

특허 제 10-2062747호 리크감지 센서 어셈블리

특허 제 10-1955607호 리크감지 센서 어셈블리

등록 제 30-0934334호 디자인 등록증

특허 제 10-1955606호 배관용 클램프 장치

특허 제 10-1732113호 진공 공정용 아이솔레이션 밸브

특허 제 10-1701333호 배관용 클램프 장치

특허 제 10-1699423호 러핑 기능을 갖는 진공 공정용 밸브

특허 제 10-1583597호 배관용 클램프 장치

발명 제 I 447321 (대만 특허) 진공 공정용 밸브

특허 제 10-1459012호 진공 공정용 러핑 밸브

특허 제 10-1436402호 진공 공정용 러핑 밸브

특허 제 10-1338387호 진공 공정용 게이트 밸브

US 8,714,523 B2 (미국 특허) 진공 공정용 밸브

증서호 제 1736901호 (중국특허) 진공 공정용 밸브

특허 제 5411228호 (일본특허) 진공 공정용 밸브

특허 제 10-1124377호 진공 공정용 밸브

특허 제 10-1141731호 반도체 제조 설비용 배관 조립체

특허 제 10-1013137호 진공 공정용 밸브